エアーシャワー除塵性能評価法の検討

摘要

エアーシャワー（以下A/Sと記す）は、クリーンルームの入口に設置され、着衣に付着した塵挨を高速気流により除去する目的に使用されている。しかし、A侶の効果について標準的に統一された基準妄巨強十はない。A/Sの除塵性肯転平価方法をTable．1に示す1各種方法には一長一短があり、再現性、及び信蹄性が不十分であった。今回、従来の除塵量測定法に改良を加え、再現性、及び信頼性の高い評価方法を開発した。新手法にて、A/Sのノズル数（風　量）、風速、距離、エアージェット時間等条件を変化させ、除塵効率を比較したので報告する。