双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響

摘要

静電チャックは静電力によって物体を吸着する道具である．薄型の対象物を扱いやすく真空中でも使用可能であるといった利点から，シリコンウェハーやガラス板の保持，運搬といった産業用途に広く利用されている．その一方，静電チャック内の電極と対象物体との距離が大きくなると保持力が低下する特性があり，表面粗さなどにより静電チャックと対象物との距離が大きくなってしまうため，平らな面を持つものに対してしか利用できない．この問題点を解決するために粗さのある面に対応する静電チャックとして，早田らは芯部に導電性を持つ静電誘導ファイバーを用いたファイバー型静電チャックを提案した．これは集積された柔軟性のあるファイバーが表面形状に応じて変形することで対象の表面と密着し，ファイバー先端に強い吸着力を発生させることを期待するものである． 澤井らはこの静電誘導ファイバー集積構造を用いた曲面対応静電チャックの開発を行った(Fig. 1)．