歯車形状測定の高精度化に関する研究―歯車と変位センサの設置誤差補正

摘要

歯車は近年，高容量化や小型化が要求されており，表面形状を精確な計測の需要はますます高まっている．歯車のような円筒形状の部品の測定は，測定対象を回転させるスピンドル，変位センサからなる測定装置を用いて行われる．歯車の計測において，測定対象のスピンドル回転中心からのずれである偏心，変位センサのスピンドルの回転軸からのずれ等の問題が生じる．そこで本報では，歯車測定装置による歯車測定の高精度化について報告する．歯車及び変位センサをシステムに設置するときに生じる主な誤差要因である偏心誤差，センサ軸のずれによる誤差を計算し，それらの影響を取り除く方法を提案する．実際の実験系においては偏心量およびセンサ軸のずれ量を測定するのは困難であるため，偏心量およびセンサ軸のずれ量を与えることができる測定シミュレーションを開発し，提案手法の有効性を確認する．