空間周波数領域2 点法に関する研究－系統誤差を考慮する場合の誤差解析

摘要

大型超精密試料の形状を測定するために，複数のセンサを用いた走査法は有効であると思われている．その中で，2 点法は2つのセンサで走査ステージの並進誤差を形状から分離できる方法である．このデータ処理手法として，逐次法，積分法，合成法，空間周波数領域法などがある．本文は，まず，空間周波数領域2 点法において，2 組の2 点法を組合わせる方法を紹介する．次に，センサの測定値に系統誤差がある場合について検討し，系統誤差を補正する手法を提案する．最後に，シミュレーションによる検証を行い，理論解析の結果を確認する．