3D microprobe; isotropy; big deflection range; silicon-parallelogram; piezo-resistor; tactile measurement;
机译:用于纳米结构尺寸计量的3D微触觉传感器
机译:具有高长宽比的微型零件的用于尺寸计量的FBG探头的开发
机译:NIST的扫描探针显微镜尺寸计量
机译:新型平行四边形3D位移传感器,用于微探测和尺寸计量
机译:使用扫描探针显微镜探测低维无机材料的微观特性。
机译:微米级碳纳米管的应变传感器:从模型到计量
机译:使用新颖的石英音叉AFM反馈,在4.2-425 K范围内使用GaN / AlGaN二维电子气(2DEG)微型霍尔传感器进行可变温度扫描霍尔探针显微镜
机译:低密度泡沫尺寸测量的驻波探针