Development and Optimization of Thin-Film Technology Based Micro-Inductors and Transformers

机译：基于薄膜技术的微电感器和变压器的开发与优化

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The paper presents an overview of the development and the optimization of a thin-film micro-transformer built on a silicon wafer. Here, the solenoid-core micro-transformer is fabricated by means of thin-film technologies. The main impetus of further research is driven by optimization of electrical and magnetic properties. The micro-transformer is designed for high frequency applications in the 15 to 30 MHz range. The energy transformation efficiency in the aforementioned switching frequency range is approximately 80%.

机译：本文介绍了开发的概述，并在硅晶片上构建的薄膜微型变压器的优化。这里，通过薄膜技术制造螺线管芯微型变压器。通过优化电磁性和磁性的优化驱动进一步研究的主要推动力。微型变压器专为15至30 MHz范围内的高频应用而设计。上述开关频率范围内的能量变换效率约为80％。

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来源
《PRiME Joint International Meeting of the Electrochemical Society, the Electrochemical Society of Japan, and the Korean Electrochemical Society》|2016年|1(CD-ROM)|共8页
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作者
S. Beringer; D. Dinulovic; M. Haug; L. Rissing; M. C. Wurz;
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中图分类 TM27-53;
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