机译:溅射阳极氧化的$ hbox {Ta} _ {2} hbox {O} _ {5} $作为介电层上的电润湿层
机译:平衡阀金属氧化物作为电介质上电润湿器件的可靠电介质层
机译:以原子层沉积氧化铝为电介质的电介质上电润湿器件的驱动特性
机译:通过阳极氧化获得的氧化铜层,用于电介质上的电润湿
机译:甲基掺杂的氧化硅膜,用于铜互连技术中的层间电介质应用。
机译:使用低压化学气相沉积的Si3N4介电层改善介电电润湿微流体器件的介电性能
机译:通过阳极氧化获得的氧化铜层,用于在电介质上进行电润湿