Ein universeller Ansatz zur Beschreibung von Prozessvariationen mit beliebig verteilten Modellparametern

摘要

Ein wichtiger Bestandteil in Entwurf und Analyse integrierter Schaltungen ist die Berucksichtigung von Prozess-variationen, denn derartige Effekte induzieren wahrend der Herstellung zeitinvariante Unterschiede im Verhalten der Bauelemente und damit auch in den Eigenschaften der jeweiligen Schaltung. Haufig werden Annahmen getroffen und Vereinfachungen vorgenommen, um dieser Problemstellung zu begegnen. So verwenden Corner-Ansatze lediglich extreme Parameterkombinationen, oder Parameter werden als normalverteilt angenommen. Dieser Beitrag stellt einen Ansatz zur Modellierung von Prozessvariationen vor, der unabhangig von der Abstraktionsebene nichtnormalverteilte und korrelierte Grossen unterstutzt. Die Anwendungen auf BSIM4-Kompaktmodelle aus einer Simulationsstudie und eine Standardzelle in einer 28-nm-Technologie unterstreichen die Notwendigkeit und Moglichkeiten dieser Herangehensweise.