Atomic Layer Deposition; plasma enhanced; ALD; mirrors; reflective coatings; corrosion barrier; silver; protected silver; PVD; deposition techniques;
机译:热和等离子体增强原子层沉积形成的IV族金属氧化物膜的化学稳定性和耐腐蚀性的比较
机译:通过低温等离子体增强原子层沉积法制备的高渗透性Al_2O_3 / HfO_2防潮膜
机译:通过优化等离子体增强原子层沉积工艺来增强氧化铝层的阻隔性能
机译:等离子增强原子层沉积法使用氧化铝膜的银基望远镜镜的防潮和化学腐蚀防护
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:通过热和等离子体增强原子层沉积形成的IV组金属氧化物膜的化学稳定性和耐腐蚀性的比较
机译:通过等离子增强原子层沉积法沉积的超薄氧化铝膜,用于腐蚀防护
机译:阳极氧化铝模板原子层沉积法制备纳米多孔活性氧化铱薄膜