MOVPE Growth of III-V Compounds on Si by MOVPE Applying Volume Production Tools (PPT)

机译：MOVPE通过MOVPE应用批量生产工具（PPT）的SI对SI的增长

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1. IIIl-V materials on Si Overview and Motivation 2. MOCVD Technology 3. MOCVD Deposition Reactor Technology 4. Horizontal Planetary~R Technology 5. Vertical Close Coupled Showerhead Technology 6. Reactor scaling 7. Results on Device Applications 8. Horizontal Planetary~R Technology 9. Vertical Close Coupled Showerhead Technology 10. Outlook

机译：1. IIIL-V材料上的材料概述2. MOCVD技术3. MOCVD沉积电抗器技术4.水平行星〜R技术5.垂直关闭耦合淋浴头技术6.反应堆缩放7.结果应用8.水平行星〜 R技术9.垂直关闭耦合淋浴头技术10.展望

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来源
《SEMATECH Surface Preparation and Cleaning Conference》|2012年||共15页
会议地点
作者
Dietmar Schmitz;
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正文语种
中图分类工程材料学;
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