Rontgeninspektion fur die Mikro- und Nano-Elektronik und die Mikrosystemtechnik

摘要

Die Elektronik und Mikrosystemtechnik sind durch eine fortschreitende Miniaturisierung und Erhohung der Komplexitat der Bauelemente gepragt. Beschrieben wird diese Entwicklung im Bereich der Halbleiterindustrie mit dem Mooreschen Gesetz und fur das Packaging mit den weiterfuhrenden Begriffen "More Moore" und "More than Moore". Einen wesentlichen Einfluss auf die anzuwendenden Technologien hat naturlich der Markt, in dem das jeweilige Endprodukt platziert werden soll. Kostenfaktoren spielen eine wesentliche Rolle. Dabei ist die Entwicklung der elektronischen Systeme untrennbar mit der Entwicklung der zugehorigen Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und der fur die Erfolgskontrolle der eingesetzten Methoden und Verfahren notwendigen Pruf- und Inspektionstechnik verbunden. In diesem Beitrag sollen die Moglichkeiten und Grenzen moderner Rontgen-Radiografie- und Rontgen-CT-Systeme am Beispiel der Inspektion verschiedener USB-Sticks aus unterschiedlichen Entwicklungsgenerationen erlautert werden.