机译:整体计量方法:利用散射测量,临界尺寸-原子力显微镜和临界尺寸扫描电子显微镜的混合计量
机译:对在线临界尺寸度量的散射测量和扫描电子显微镜度量中的生产者和消费者风险的评估
机译:测量配置优化应用光学散射测量对多层光栅中子波长尺寸的精确计量
机译:使用激光散射法的周期性纳米结构的高精度尺寸计量
机译:衍射光学近场激光光刻技术,用于制造3维周期性纳米结构。
机译:用于人体尺寸测量的3维非接触式人体激光扫描仪的改进技术报告:验证其准确性和精确度
机译:基于飞秒脉冲激光的精密尺寸计量
机译:具有二极管泵浦的飞秒激光器用于精密计量和光纤通信