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Development of an Industrial Robot Based Polishing Platform for Large Optical Components

机译：基于工业机器人的大型光学元件抛光平台的开发

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The implementation of a new robot based polishing system is presented. Fused silica parts with a ground surface were polished then evaluated for surface roughness and form. A surface roughness of less than 2 nm S_a was produced on 100 mm parts in 2.6 hours.

机译：提出了一种新的机器人的抛光系统的实现。抛光具有地面的熔融二氧化硅部件，然后评价表面粗糙度和形式。在2.6小时内，在100mm部件上产生小于2nm s_a的表面粗糙度。

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来源
《EOS conference on manufacturing of optical components 》|2013年||共2页
会议地点
作者
X. Tonnellier; P. Comley; X.Q. Peng; P. Shore;
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正文语种
中图分类光学仪器 ;
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