Micro-electro-mechanical System (MEMS); high Quality (Q) factor; inductor; high radio frequency (RF); Silicon-on Sapphire (SOS);
机译:基于CMOS-MEMS技术的高Q系数电感器的制造与表征
机译:金属PGS对28MM CMOS技术中RF和MM波应用的螺旋电感Q系谱的影响
机译:晶圆级CSP技术制造的螺旋电感器的Q因子定义和评估
机译:采用MEMS技术的超高Q系数电感器
机译:使用MEMS开关技术和高Q电感器的准可调RF无源电路设计的研究
机译:基于CMOS-MEMS技术的高Q系数电感器的制造与表征
机译:基于CmOs-mEms技术的高Q因子电感器的制备与表征