白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発（第4報）－純水中でのZnO単結晶の局所電気化学エッチング

摘要

原子間力顕微鏡（AFM）は，原子·分子像を直接観察できる分解能を有し，かつナノメートル領域での加工用ツールとしての応用も期待されている．前報ではAFMプローブ探針表面に被覆した白金（Pt）の触媒作用によって溶存酸素（O_2）の還元反応による水酸化物イオン（OH~-）の生成を促進し，純水中かつ室温でシリコン（Si）がエッチングされることを実証した．また，電圧印加によって化学反応が促進し除去加工速度が増加することを示した．本報では，Pt触媒プローブによる酸化亜鉛（ZnO）単結晶の電気化学的除去加工を目的とし，電圧印加効果の影響を調査し，加工メカニズムを考察した．