サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第2報）基礎検証実験装置の構築

摘要

近年，微細化が進hでいる半導体デバイスや MEMS に代表される微小構造においては，微細加工によってできた微細穴（溝）では，開口が回折限界より小さいため，このようなサブ回折限界微小開口の深さ計測は困難である．そこで，我々は高分解能を達成するサブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法の開発について研究を取り込hでいる．回折限界以下の微小開口では，一般的に深さに応じた線形的な位相差の検出はできない．前報では，回折限界以下の微小開口でも，近接場領域においては明確な位相差が生じることを示し，これにより，近接場で検出される微小な位相変化が深さと関連づけられる可能性を示した．（2）本報では，微小穴の位相分布変動を検出するために，リニーク干渉計をベースして実験装置の検討を行った．