角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）―長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討

摘要

機械加工の精度向上のため，平面のうねりを高精度に測定することが必要とされている．当著者らの研究グループでは多数の変位センサを一体とした真直度測定用のMEMSセンサデバイスを開発中である．また，オートコリメータは光軸周りの角度が測定できないため，単純には真直形状から面形状に展開できないことから，真直度測定を発展させた平面度測定用センサデバイス及びそれを用いた平面度測定手法も開発中である．多点法走査型平面形状測定の基本となる3点法真直度測定では，測定値のばらつきに起因する形状誤差が問題となる．そこで，測定値のばらつきに起因する誤差をモンテカルロシミュレーションにより検証した．また，基本測定ピッチとこれを整数倍した長ピッチでの測定を別途行い，この結果に基本測定ピッチの測定データをフィットさせることで測定値のばらつきに起因する誤差を軽減する方法を提案し，その効果をシミュレーションにより検討した．