スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法(第5報)－離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証

摘要

我々は，半導体欠陥計測を高解像度，かつ非破壊のもとで行うためにスポット照明をナノスケールで重複シフトさせることによる超解像光学式検査方法を提案し開発している．手法概要を以下に示す．(1)スポット照明パターンを照明領域を重複させつつナノオーダでシフトさせ，複数の散乱光像を取得する．(2)複数像に対して計算機による後処理を加えることで，照明のナノシフトによる情報を解像結果に反映させ，通常の手法では得られないスポット内の情報を再現する画像を得る．本報では提案手法の実験的検証を目指した超解像実験を行った．