アルミ磁気ディスク基板のポリシング特性に及ぼすポリシャ表面構造の影響（第3報）－ポリシャ表面バフの影響

摘要

ハードディスクに使用される磁気ディスク基板に求められている品質特性の中で，平滑性と端部形状は重要な評価パラメ－タ－である．平滑性は，基板表面の表面粗さやうねりで評価される．また，端部形状は基板端面のダレ状態を表すロールオフで評価される．一般にポリシング初期においては，ポリシャ表面が不均一のため，うねりやロールオフが満足する範囲内にならず，立ち上がりにダミーポリシングが行われる．筆者等は，先に，磁気ディスク基板のポリシング特性に及ぼすポリシャ表面構造の影響について，バフ工程条件の影響を検討した．本研究では，引き続き，ポリシャ表面構造をポリシャのバフ工程を行ったスエードタイプと，バフ工程を行わない，いわゆるノンバフタイプのポリシャについて，磁気ディスク基板のポリシングにおけるポリシング基板除去速度と基板うねり等のポリシング特性を検討した．以下に結果を報告する．