恒温恒“屈折率”チャンバーの提案 第2報：空気の屈折率変動抑制の実験

摘要

レーザ干渉測長機やレーザ干渉形状測定機は，精密工学分野で広く利用されている．これらは温度変動と空気屈折率変動の影響を受けるため，サブナノメートル以下の精度（再現性）を保持することが難しい．温度と空気屈折率（工業的には絶対屈折率ではなく相対屈折率で可）変動をそれぞれ1mK，10~(-10) 以下とすることは意義がある．第1報で我々は，極低熱膨張材で構成された光共振器とPound-Drever-Hall 法（PDH 法）を用いた恒温恒屈折率チャンバーの構成を示した．本報では，1)容積アクチュエータによるチャンバー内の空気屈折率変動を計測し，さらに周波数安定化レーザと容積アクチュエータで屈折率変動を抑制したので報告する．