ダイヤモンド電鋳工具に対する砥粒平坦化ツルーイング技術とナノメータ研削への応用

摘要

ガラスやセラミックスなどの硬脆材料に対してマイクロ研削加工を行い，表面粗さが10 nm Rz 以下の平滑な加工面を作るためには，砥石作用面にある砥粒の先端を平坦かつ平滑に成形する必要がある．本研究では，メッシュサイズが#1,000 のダイヤモンド電鋳工具に対し，工具の先端を半径が0.2 mm の半球状に成形できると同時に，半球状の砥石作用面にある砥粒の先端を工具の輪郭に沿って平坦かつ平滑に成形できる，ツルーイング条件を見出すための実験を行った．