回折限界を超えた三次元形状の動的現象を解析するためのスペックル干渉計測法

摘要

スペックルを用いた多くの変形計測法が報告されている.このスペックルをさらに有効かつ簡易に利用できるように，変形前後の二枚のスペックルパターンのみを用いた高分解能な変形計測が実現されている.さらに，横ずらしの変位を意図的に与えることによって，スペックル干渉計測法の測定原理に従った三次元物体の形状計測が可能な新たな測定技術もまた提案されている.本報では，このspeckle干渉計測技術を用いた三次元形状計測技術を動的に変化する物体の形状計測に適用するための新たな技術を提案している.この新たな手法の有効性を回折格子を用いた実験において検討し，さらに，新たな手法が回折限界を超えた微細構造物の形状計測においても有効であることを確認している.