ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受の研究－主軸台性能の数値解析と実験検証

摘要

静圧軸受は研削盤などの砥石軸受として，高い加工精度を実現するために従来から多く採用されている．これらの静圧軸受はオリフィス絞りによる静圧ポケットを多数配列しており，軸受の単位面積あたりの静剛性を大幅に向上し，軸受ポケット数を削減することがコスト削減には有効な手段である．これまでに静圧軸受の静剛性を向上する手段として，オリフィス絞りの替わりにダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受が提案され，単体の軸受について研究されている．また，ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受の動特性やステップ応答について，軸受油中の気泡や配管の弾性変形などを考慮し，単体の軸受について研究されている力．