LiNbO_3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック·エミッション·センサの開発（第3報）－センサの特性評価方法

摘要

本研究では，高額な半導体装置を使用し，複雑な構造を持ったMEMS 式アコースティック·エミッション·センサの代替として，比較的安価な装置で製作·製造することができ，かつシンプルな構造にすることができる LiNbO_3（ニオブ酸リチウム）材を用いた高性能な音響コム（櫛）型AEセンサの開発を行うものである．