磁気抵抗素子を利用した主軸回転誤差測定－静電容量式変位計との比較

摘要

主軸回転精度測定は静電容量式によるものがほとhどであり，磁気を利用した方法はこれまで試みられていない．本研究では，磁気抵抗素子を利用した回転精度測定装置を製作し，静電容量式との比較を行った．本実験では，出力変位の直線性，分解能ならびにNRROの測定結果を比較した．