at-wavelength; optical metrology; nano-focusing; mirror alignment; slope measurement; interferometer; x-ray optics; synchrotron radiation;
机译:用于软X射线纳米聚焦的原位,波长计量技术的发展
机译:基于二维光栅干涉仪的莫尔条纹分析方法的波长计量
机译:X射线光栅干涉仪,原位和波长波前测量
机译:ALS的波长光学计量学发展
机译:梯度折射率材料的光学相干断层扫描计量和自由形态光学表面
机译:BESSY-II的用于紫外线和XUV反射和衍射光学的波长计量设施
机译:在金刚石光源下使用基于光栅的剪切干涉测量的波长计量的研制