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Integration von passiven und aktiven Bauelementen mittels innovativer Drucktechniken

机译：使用创新印刷技术集成被动和有源部件

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Drucktechniken bieten vielfaltige Moglichkeiten zum additiven Aufbau und zur Integration von funktionalen Strukturen in Mikro- und Nanosystemen. Passive und aktive Bauelemente lassen sich auf unterschiedlichen Substraten mittels des neuartigen Aerosols Jet Verfahrens aufbauen. In diesem Beitrags wird beispielhaft auf mittels Aerosol Jet Technologie hergestellte Widerstande, Temperatursensoren, Kondensatoren und Dunnfilmtransistoren eingegangen.

机译：印刷技术为微型和纳米系统中的功能结构提供了不同的可能性。可以通过新型气溶胶喷射方法在不同的基板上设置被动和活性组分。在本文中，通过气溶胶喷射技术通过示例接收评估，温度传感器，电容器和DUNNFILMTRANSTONTOR。

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来源
《GMM-Workshops Mikro-Nano-Integration》|2011年||共4页
会议地点
作者
F. Schon; J. Keck; H. Willeck; W. Eberhardt; B. Polzinger; H. Kuck; M. Strecker; N. Fruhauf;
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正文语种
中图分类 TB383-53;
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