Micro gears; loop proportioned drive; stage-error compensation;
机译:将硅基微探针集成到齿轮测量仪中,以精确测量微齿轮
机译:一种新型仪器测量螺旋齿轮齿轮螺旋偏差的新仪器对亚微米精度的影响
机译:基于虚拟齿轮测量仪的复杂工件测量软件测试验证
机译:微齿轮测量仪的驱动技术
机译:测量激进的驾驶动机:仪器开发和验证。
机译:基于虚拟齿轮测量仪的复杂工件测量软件测试验证
机译:高分辨率微波光谱仪测深仪(HImss)仪器程序。附录:TRmm研究(美国宇航局热带雨量测量任务的仪器)