Voraussetzungen fur fortschrittliche Hard Disk Drive (HDD) Schreib-/Lesekopfe sind eine minimale Flughohe und eine perfekte Spurfolge. Durch die Verwendung von Mikrosystemtechnik wurde ein kostengunstiger Schreib-/Lesekopf mit integriertem Mikroaktor (SLIM) entwickelt, welcher sowohl eine Anpassung der Flughohe als auch eine hochgenaue Spurfolge ermoglicht. Dieser Beitrag beschreibt den Entwurf, die Simulationen und den Fertigungsprozess des SLIMAktivteils. Ferner stellt er technologische Verbesserungen durch eine Prozessumstellung vor und beschreibt die Nutzung im Gesamtsystem.
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