Es werden eine Aufbau- und Verkapselungstechnik von Mikrobatterien und Ergebnisse zu Zuverlassigkeitsuntersuchungen der Verkapselung sowie elektrischer Tests vorgestellt. Zur Herstellung der Batteriegehause wurden ca. 200 μm tiefe Kavitaten mittels reaktiven Ionenatzens (RIE) in einen Silizium-Wafer eingebracht. Nach Herstellung der Stromableiter mittels Dunnfilmtechnologien wurden vorkonfektionierte Batterielaminate (LixC6 und Li_(1-x)CoO_2, PVDF-Polymer- Matrix nach Bellcore-Verfahren) eingebaut. Das Package wurde mittels Glasdeckel verschlossen. Die Anforderung an die Dichtheit der Verkapselung ist ausserordentlich hoch. Es wurden Untersuchungen zur Verklebung von Glasdeckel und Siliziumsubstrat durchgefuhrt. Die Materialvertraglichkeit von Klebstoff und Elektrolyt wurde nachgewiesen. Da die Batteriematerialien, insbesondere die Polyolifin-Separatoren temperaturempfindlich sind, wurde die thermische Belastung wahrend der UV-Hartung untersucht. Der Warmeeintrag in die Batterie wahrend des Klebeschritts konnte durch den Einsatz einer weitaus kalteren LED-Lichtquelle begrenzt werden. Die Dichtheit der Verkapselung wurde uberpruft. Um die Wasserdampfpermeation durch den Kleberand zu bestimmen, wurde metallisches Kalzium ins Gehause eingebaut und unter definierten Bedingungen (Temperatur, Feuchte) ausgelagert. Die Degradation des Kalziums durch eintretendes Wasser wurde optisch ausgewertet. Die Funktionsfahigkeit der Mikrobatterien konnte mittels elektrischer Zyklisierungstests an verkapselten Batterien demonstriert werden.
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