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An electrical tunable liquid crystal Fabry-Perot cell for a miniaturized 3D surface scanning profilometer

机译：用于小型化3D表面扫描性仪的电动可调谐液晶法布里 - 珀罗克罗特

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We demonstrated a miniaturized optical profilometer of surface scanning manner by using an electrically tunable liquid crystal Fabry-Perot cell. The surface profile of the fringe patterns is explained by the resonance mode analysis of the interference patterns.

机译：我们通过使用电可调谐的液晶法布里 - 珀罗克罗特来证明了表面扫描方式的小型化光学轮廓仪。边缘图案的表面轮廓由干涉图案的共振模式分析来解释。

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来源
《LEOS Annual Meeting》|2009年||共2页
会议地点
作者
Chang-sub Park; Kyung-Woo Park; Shin-Won Kang; Hak-Rin Kim;
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正文语种
中图分类 TN2-53;
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