Post-CMP cleaning; shear force; coefficient of friction; PVA; brush; scrubbing; micelle; polyelectrolyte; supramolecular assemblies;
机译:CMP后清洁过程中PVA刷的粘弹性对摩擦的影响:结核构造的指南
机译:适用于Cu / low-k cmp后清洗应用的Pva刷设计进展
机译:PVA刷头结节对刷洗器清洁过程中颗粒去除效率的结构影响
机译:用于流通芯后CMP刷子洗涤器设计的液体流动动力学和PVA刷孔结构的影响
机译:第一部分:电活性超分子组装体的表征。第二部分:超分子组装体在甲型流感生物传感器设计和制造中的应用
机译:超分子化学和自组装特征:新型超分子三角棱镜来自锌(II)– 14710-四氮杂十二烷(环)络合物和水溶液中的三硫氰尿酸酯
机译:不同清洗液和刷洗机运动学对后铜Cmp清洗过程摩擦性能的影响