Monolithische Systemintegration in der Leistungselektronik

摘要

Smart-Power ICs und Smart-Power Transistoren, d. h. monolithisch integrierte Halbleiterbausteine bei den Teilsysteme leistungselektronischer Schaltungen auf einem Chip integriert sind, werden seit Mitte der 80er Jahre des letzten Jahrhunderts in zunehmendem Masse in der Automobilelektronik sowie Industrie- und Konsumelektronik eingesetzt. Zu ihrer Herstellung werden abhangig von der Komplexitat der zu integrierenden Schaltungen sowie den Strom- und Spannungsanforderungen unterschiedliche Technologien eingesetzt. Der Beitrag gibt eine Ubersicht uber die Grundprinzipien, die Moglichkeiten und Begrenzungen der verfugbaren Herstellungsverfahren sowie einen Uberblick uber die wichtigsten heute eingesetzten Smart-Power Produkte und Entwicklungstrends.