Erstellung eines Simulationsmodells zur computergestutzten Untersuchung der Dynamik einer z-Achse fur Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

摘要

Im Sonderforschungsbereich 622 erfolgt die Entwicklung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen. Da diese sehr zeit- und kostenaufwendig ist sollen schon fruhzeitig Konstruktionsentwurfe beurteilt und optimiert werden konnen. Eine Grundlage fur die Bewertung und Auswahl geeigneter mechatronischer Bewegungssysteme soll die Simulation des dynamischen Verhaltens sein. Zur Untersuchung bietet sich die Mehrkorperdynamik an. Ausgehend von einem Entwurf wird ein Simulationsmodell mit einem Mehrkorpersimulationsprogramm erstellt. Bei der Modellbildung fur hochprazise Positioniersysteme mussen dabei neue Modellelemente genutzt werden, um wesentliche Effekte im System nachzubilden. Deshalb bildet die Modellgenerierung als Mehrkorpersystem den Schwerpunkt der vorgestellten Arbeiten.