silicon carbide; harsh environment; MEMS; NEMS;
机译:电场涉及纳米晶碳化硅氮化物(NC-SiCN)薄膜升高温度的运输,用于苛刻的环境应用
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的非晶碳化硅薄膜(a-SiC:H)作为恶劣环境应用中的保护涂层
机译:在恶劣环境气体传感器应用中氧化环境中与4H碳化硅的欧姆接触的比较研究
机译:适用于恶劣环境和苛刻应用的碳化硅微/纳米系统
机译:碳化硅微引伸计,用于恶劣环境。
机译:碳化硅(SIC)纳米晶体技术和特性及其在记忆结构中的应用
机译:09 - 用于苛刻环境市场应用的碳化硅传感器系统
机译:适用于恶劣环境应用的碳化硅传感器和电子设备