アルミニウムアノード酸化皮膜を用いた微細凹凸構造を持つDLCの作製

摘要

近年, 環境問題や省エネルギー問題の観点から，材料の高性能化や低コスト化環境調和性等が求められている．このような要求を満たすため，様々な表面改質が施されている。その中でも特にDLC膜に注目が集まっている．DLC膜は，PVDやCVDのドライプロセスによって成膜が可能で，低摩擦性や耐摩耗性に優れており，さらには低環境負荷材料であることから自動車部晶や工具など様々な摺動部材に応用されている1，2）。しかし，DLC膜には内部応力による剥離やクラックの発生，厚膜化が困難であるといった問題点がある．