摩擦による微細ダストの特性

摘要

半導体製造装置, 医療·バイオテクノロジー，情報, 電気通信, 宇宙機器などの各分野では，作業空間での発塵が問題となる．そのため，クリーンルーム，真空活性および不活性ガスなどのクリーン環境下で使用する機構は，駆動機構から作業空間への汚染放出を厳密に制御する必要がある。それにより，これらに使用するトライボロジー部品の重要性が増大している.　そこで，本研究ではクリーン環境におけるトライボロジー特性と，発塵の基本特性を明らかにすることを目的として，クリーンルーム内における滑り摩擦試験を行い，摩擦試験部から発生する魔境を測定した。具体的には，ダイヤモンド膜など各種材料について試験片を作成し，その基本的な発塵特性摩擦トルク特性, 表面損傷ならびに摩耗量を評価し，比較検討した。