エポキシ樹脂はっ水構造を用いた加熱濃縮デバイスの開発

摘要

固体表面と液の濡れ性は，表面組成と表面の微細な凹凸構造によって変化することが知られている。我々は，感光性エポキシ樹脂SU-8に形成した微細な凹凸表面を，SF_6プラズマ処理することにより，はっ水面とすることが可能であることを示した。