塩化物イオンを含む溶液中でのチャンネルフロー電極法を用いた銅の溶解機構における流速·温度依存性の検討

摘要

溶液系で行われるウェットエッチングはドライエッチングに比べて微細化の点で劣るがタ量産性，コストの点で優れる1微細化の問題点としてはアンダーカットの発生がある。アンダーカットとは深さ方向と同時に横方向にもエッチングが起こる現象である．現在エッチングメカニズムの解析は十分であるとは言えず, 経験に基づいてエッチングの条件を決定している場合が多い。エッチングに関する重要なパラメータとしては，エッチング液の対流，温度，酸化剤，添加剤，時間がある農本研究では，チャンネルフロー電極法を用いることで，銅のアノード溶解機構に対する流速と温度依存性を検討する．