低付着性の炭素系薄膜の力学特性および界面エネルギー

摘要

炭素系薄膜としては，diamond，DLCのような強結合硬質膜の利用が大きく発展してきた一方で，グラフェンやフラーレン（C_(60)）分子が，その特異な物理化学的質が注目され，ナノテク応用を目指して盛hに研究されるようになっている。