Al-B-C膜の機械的特性および高温酸化特性に及ぼす組成の影響

摘要

これまでの実験結果において，膜中のAl含有率を数％台にすることで低摩擦化に成功したが，高温酸化特性は改善の必要があった．そこで今回は，AlB_2ターゲット使用による高温酸化特性向上を目指すとともに，CH_4ガス導入による低摩擦化の評価を目的として実験を行った．