silicon immersion grating; silicon grism; high resolution spectroscopy; infrared; chemical etching;
机译:红外天文学用硅浸没光栅的生产和评估
机译:高分辨率,高通道COUP中途红外线阵列波导光栅在硅中
机译:光栅腔连续波光学参量振荡器,用于高分辨率中红外光谱
机译:用于高分辨率红外光谱的大幅面硅浸入式光栅
机译:红外高分辨率真空分光光谱仪的设计及其在乙炔L型共振研究中的应用。
机译:用于中红外应用的微米级薄膜硅固体浸没透镜的设计与制造
机译:用于红外光谱的硅浸入光栅的制备和性能
机译:用于红外光谱的硅浸没光栅的制造和测试