摘要：通常采用SEM/EDS或EPMA等表面微区分析手段对钢铁缺陷样品进行表征,这些方法的不足在于分析速度慢、灵敏度低及扫描区域小,LIBS由于具有分析速度快、可进行元素的分布及深度分析、非接触分析及易于实现在线分析,故在材料科学领域引起广泛关注.文中采用LIBS在最佳实验条件下对海洋用钢分层缺陷样品进行扫描分析,研究了A1,Mg,Ca,Si等元素的分布,研究表明,缺陷处A1,Mg,Ca,Si的含量远高于正常部位,即这些元素在缺陷处发生了富集,用SEM/EDS对此分层缺陷样品扫描分析并与LIBS的分析结果进行比较,结果表明,两种不同的表面微区分析手段所得到的结论一致.此外,由SEM/EDS及LIBS二维元素面分布可知,当缺陷处与正常部位成分差异不是太大时,LIBS可以清晰体现二者之间的差异,而SEM/EDS则无法体现二者的成分差异,这表明LIBS的灵敏度要高于SEWEDS,此方法可用于快速对钢铁样品的缺陷进行表征,从而为冶金工艺的改进提供依据.
