rsidual stress; origin mechanism4aporous silicon; micro-Raman spectroscopy; x-ray diffraction;
机译:通过高功率脉冲磁控溅射沉积的氧化铝和硅的CRNX薄膜中的残余应力
机译:用压痕断裂法测量沉积在硅晶片上的薄膜中的残余应力
机译:光学干涉法测定硅基底上SiO_2膜中的面内残余应力
机译:多孔硅膜中残余应力的产生机理
机译:光学干涉测量法在硅基板上的二氧化硅膜中的平面内残余应力。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:蓝宝石硅薄膜系统中的残余应力
机译:多晶硅薄膜中的氟注入和残余应力