超音波霧化液滴を用いた粒子捕集装置の構築

摘要

超音波霧化法は,MHz オーダーの周波数を有する超音波発振子を用いて超音波を液体に照射することで液柱が生成し,その液柱表面に生じるキャピラリー波によって細かい液滴が分裂する現象のことである。本法は,溶液中の物質の分離?濃縮(例えば,エタノール水溶液中のエタノールの濃縮)および加湿,材料合成の研究などの用途に使われている。一方,超音波霧化により生成する液滴は,ミクロンオーダーの粗大液滴と100 nm以下の超微粒子(UFP)領域の微細液滴から構成されている。そして,これらの液滴は帯電していることが知られ,特にミクロンオーダーの粗大液滴は高電荷を有している1)。