超高精度形状測定機UA3P シリーズによる微細形状の高精度計測

摘要

近年，フォトリソグラフィや超精密機械加工等の発展に伴い，微小3 次元形状をナノメートルオーダーで測定可能な超高精度測定機への要請が高まっている．本稿では，接触式プローブを用いて，垂直壁面を低接触力かつ高精度にスキャン測定可能な超高精度形状測定機UA3P-L400S の特徴，測定原理，微細形状測定の事例について述べる．