小型ハイブリッド磁気軸受のスキャナモータへの適用と制御性能－高速高精度位置決め小型モータに適用するゼロパワー制御磁気軸受の開発

摘要

磁気軸受は，耐摩耗性や保守性に優れるため高速回転するターボ分子ポンプやフライホイルエネルギー蓄積装置に用いられている．著者らは，磁気軸受を光加工システムに適用するべく研究開発を行ってきた．前報では，ピボッド型1点支持モデルでハイブリッド小型磁気軸受の基本性能を検証したが，今回4軸型に展開し光加工システム用ガルバノスキャナを想定した位置決め精度検証モデルを試作し，良好な位置決め精度を得たので報告する．