超精密形状計測装置の開発―開発した計測装置の性能

摘要

放射光用非球面集光ミラーやEUV 用非球面レンズは非常に高精度の形状精度が要求されている。このような形状制度の加工法にNCEEM、CVMを採用することにしている。これらの加工精度はナノメータを達成しているため、現状の光学素子を前加工面とみなし、補正加工をおこなうための形状データの測定装置を開発した。本報では、測定原理で述べた方法に基づき設計製作した装置と、その性能測定をおこなった結果について述べる。