レーザの強度配分光学系の提案と加工への応用(第3報)－強度変換光学素子の機能評価

摘要

透明アクリル樹脂を形状加工し出射での屈折角をコントロールすることでレーザの照射位置·強度分布を自由に形成させる光学素子の開発を行っている．これまでは試作した素子を使用してレーザ照射し，得られた加工形状よりビーム配分の効果を検証してきた．ところが，加工痕形状は強度分布との関係よりも熱的因子に依存するため，設計した強度分布に形成されているかは断定できない．そこで，試作素子各部におけるビームの透過強度·偏向方向を検出し，試作した光学素子の機能評価を試みた．