ナノテクノロジーを支える超微細計測·評価技術

摘要

昨今の超微細部品への要求と加工技術の発達により、工業製品の微細化·精密化は増々加速していくことは自明の理であり、精密測定機も更なる高精度化を進める必要がある。今回述べさせて頂いた各種測定システムをナノ計測に向けての足がかりに、今後より高度な測定システムへの発展を行うとともに市場ニーズに合った使い易い商品の開発を推進することで、産業界の発展に寄与できれば幸いである。